مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

مقاله مقاله نشریه

مشخصات مقاله

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

903
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

620
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات مقاله نشریه

عنوان

نقش عملیات حرارتی در استحاله فازی و تغییر ویژگی های الکترونیکی فیلم های سیلیکون

صفحات

 صفحه شروع 77 | صفحه پایان 87

چکیده

 فیلم هایی از سیلیکون آمورف به روش لایه نشانی فیزیکی فاز بخار به کمک پرتو الکترونی (EB-PVD) ایجاد شد. فرآیند لایه نشانی در شرایط خلا بالا (10-6 torr) که منجر به تشکیل یک پوشش آمورف البته با ضخامت های کنترل شده انجام شد. پس از نمونه سازی, نمونه ها در دمای 800oCو در محیط گاز خنثی تحت شرایط عملیات حرارتی قرار گرفت و ویژگی های ساختاری و الکتریکی آن قبل و بعد از عملیات حرارتی مورد تحلیل قرار گرفت. نتایج حاصل از میکرورامان نشان دهنده ساختار آمورف در پوشش های اولیه بود که با افزایش ضخامت پوشش و حضور نقایص بیشتر مقداری از نانوکریستال ها تشکیل شد. علاوه بر آن با اعمال شرایط عملیات حرارتی تشکیل, رشد و ادغام نانوکریستال ها و تشکیل یک ساختار پلی کریستال را شاهد هستیم. نانوکریستال ها منجر به تشکیل پیوندهای sp2 و sp3 شده که همین خود باعث افزایش هدایت الکتریکی پوشش در این شرایط شد و این افزایش هدایت الکتریکی با افزایش ضخامت پوشش بر روی نمونه های موردبررسی به شدت افزایش یافت.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • استناددهی

    APA: کپی

    زرچی، میثم، و آهنگرانی، شاهرخ. (1396). نقش عملیات حرارتی در استحاله فازی و تغییر ویژگی های الکترونیکی فیلم های سیلیکون. علوم و مهندسی سطح، 13(33 )، 77-87. SID. https://sid.ir/paper/120973/fa

    Vancouver: کپی

    زرچی میثم، آهنگرانی شاهرخ. نقش عملیات حرارتی در استحاله فازی و تغییر ویژگی های الکترونیکی فیلم های سیلیکون. علوم و مهندسی سطح[Internet]. 1396؛13(33 ):77-87. Available from: https://sid.ir/paper/120973/fa

    IEEE: کپی

    میثم زرچی، و شاهرخ آهنگرانی، “نقش عملیات حرارتی در استحاله فازی و تغییر ویژگی های الکترونیکی فیلم های سیلیکون،” علوم و مهندسی سطح، vol. 13، no. 33 ، pp. 77–87، 1396، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/120973/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

    مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.
  • کارگاه های پیشنهادی






    بازگشت به بالا
    telegram sharing button
    whatsapp sharing button
    linkedin sharing button
    twitter sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    sharethis sharing button