مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

مقاله مقاله نشریه

مشخصات مقاله

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

1,034
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

610
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات مقاله نشریه

عنوان

سنتز و بررسی خواص الکترواپتیکی سیلیکون متخلخل به روش ترکیبی شیمیایی و الکتروشیمیایی

صفحات

 صفحه شروع 55 | صفحه پایان 61

چکیده

 در این تحقیق, سیلیکون متخلخل به روش نوین حکاکی ترکیبی شیمیایی و الکتروشیمیایی سنتز شد و تغییرات خواص اپتیکی و ساختاری بر اساس درجه تخلخل نمونه ها مورد بررسی قرار گرفت. در این روش سطح زیر لایه های سیلیکونی ابتدا توسط روش اچینگ شیمیایی به مدت Td (زمان تاخیر) آماده سازی گردید. سپس در روش اچینگ الکتروشیمیایی حفره های اولیه تولید شده در مرحله قبل, امتداد یافته و سیلیکون متخلخل یکنواختی ایجاد شد. با بهینه کردن زمان تاخیر Td, میزان تخلخل و یکنواختی حفره ها بهینه شد. مطالعات مورفولوژی و مشخصه یابی الکترواپتیکی نشان داد که نمونه ای که با زمان تاخیر بهینه تولید شده است, خواص فیزیکی بهتری دارد و می تواند در ادوات نوری همچون آشکارسازهای نوری به طور موثری مورد استفاده قرار گیرد. به منظور بررسی خواص الکترواپتیکی نمونه های متخلخل, آشکارسازهای نوری فلز-نیمه هادی-فلز بر پایه سیلیکون متخلخل ساخته شد. برای این منظور, دو الکترود شانه ای شکل از جنس نیکل به روش لایه نشانی تبخیر حرارتی بر روی نمونه ها رشد داده شد و نمودار جریان-ولتاژ نمونه ها تحت تابش نور مرئی و در تاریکی, مورد بررسی قرار گرفت.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • استناددهی

    APA: کپی

    نادری، نیما، و اشراقی، محمدجواد. (1395). سنتز و بررسی خواص الکترواپتیکی سیلیکون متخلخل به روش ترکیبی شیمیایی و الکتروشیمیایی. علوم و مهندسی سطح، 12(30)، 55-61. SID. https://sid.ir/paper/121051/fa

    Vancouver: کپی

    نادری نیما، اشراقی محمدجواد. سنتز و بررسی خواص الکترواپتیکی سیلیکون متخلخل به روش ترکیبی شیمیایی و الکتروشیمیایی. علوم و مهندسی سطح[Internet]. 1395؛12(30):55-61. Available from: https://sid.ir/paper/121051/fa

    IEEE: کپی

    نیما نادری، و محمدجواد اشراقی، “سنتز و بررسی خواص الکترواپتیکی سیلیکون متخلخل به روش ترکیبی شیمیایی و الکتروشیمیایی،” علوم و مهندسی سطح، vol. 12، no. 30، pp. 55–61، 1395، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/121051/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

    مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.
  • کارگاه های پیشنهادی






    بازگشت به بالا
    telegram sharing button
    whatsapp sharing button
    linkedin sharing button
    twitter sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    sharethis sharing button