مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

مقاله مقاله نشریه

مشخصات مقاله

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

703
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

558
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات مقاله نشریه

عنوان

بررسی نظری تأثیر فاصله چشمه تا زیرلایه بر لایه نشانی مس به روش تبخیر حرارتی

صفحات

 صفحه شروع 82 | صفحه پایان 89

چکیده

لایه های نازک مس به طور گسترده در حسگرهای امنیتی, حسگرهای پزشکی, صفحات خورشیدی, لیزرهای قفل شده مد, درمان سرطان و. . . . کاربرد دارند. روش تبخیر حرارتی روش مناسبی برای ایجاد لایه های نازک مس است. فاصله بین چشمه مس و زیرلایه پارامتر مهمی است که تاکنون مورد بررسی قرار نگرفته است. بنابراین در این مقاله تأثیر این کمیت بر فرایند ایجاد لایه نازک مس با روش تبخیر حرارتی به صورت نظری مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج نشان داد که فشار بخار مس بر سطح زیرلایه, نرخ لایه نشانی و ضخامت لایه نازک با افزایش این فاصله کاهش می یابد. در حالی که میزان یکنواختی ضخامت لایه نازک با افزایش این فاصله بهبود می یابد. با افزایش فاصله از cm13 تا cm33 نرخ لایه نشانی از nm/s57/5 تا nm/s12/1 کاهش و پهنای تابع ضخامت لایه از nm56 تا nm120 افزایش می یابد. همچنین تابع وابستگی پهنای ضخامت و نرخ لایه-نشانی لایه نازک به فاصله چشمه تا سطح زیرلایه ارائه شده است تا فاصله مناسب با توجه به کاربرد لایه نازک انتخاب شود.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • استناددهی

    APA: کپی

    علی پور زردکوهی، جواد، شریعتمدار طهرانی، فاطمه، و علیان نژادی، مریم. (1399). بررسی نظری تأثیر فاصله چشمه تا زیرلایه بر لایه نشانی مس به روش تبخیر حرارتی. نانو مقیاس، 7(1 )، 82-89. SID. https://sid.ir/paper/256990/fa

    Vancouver: کپی

    علی پور زردکوهی جواد، شریعتمدار طهرانی فاطمه، علیان نژادی مریم. بررسی نظری تأثیر فاصله چشمه تا زیرلایه بر لایه نشانی مس به روش تبخیر حرارتی. نانو مقیاس[Internet]. 1399؛7(1 ):82-89. Available from: https://sid.ir/paper/256990/fa

    IEEE: کپی

    جواد علی پور زردکوهی، فاطمه شریعتمدار طهرانی، و مریم علیان نژادی، “بررسی نظری تأثیر فاصله چشمه تا زیرلایه بر لایه نشانی مس به روش تبخیر حرارتی،” نانو مقیاس، vol. 7، no. 1 ، pp. 82–89، 1399، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/256990/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

    مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.
  • کارگاه های پیشنهادی






    بازگشت به بالا
    telegram sharing button
    whatsapp sharing button
    linkedin sharing button
    twitter sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    sharethis sharing button