مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

946
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

0
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات مقاله نشریه

عنوان

توپوگرافی سیلیکن پس از بمباران توسط یونهای کم انرژی آرگون

صفحات

 صفحه شروع 12 | صفحه پایان 16

چکیده

 موضوع تخریب تابشی سیلیکن بوسیله روشهای منسوب به پلاسما و باریکه الکترونی سالیان زیادی مورد بررسی قرار گرفته است. بهبود توپوگرافی سطح به منظور داشتن ضمختی ویژه نیز گاهی مورد علاقه می باشد. بخصوص در آن دسته از آزمایشهایی که بر همکنش یون با سطح بسیار به توپوگرافی سطح حساس است. در کار قبلی, جهت مطالعه اثر بمباران الکترونی روی سیلیکن از چشمه الکترونی طراحی شده خود استفاده نمودیم. در این مقاله, نمونه های سیلیکن توسط یونهای آرگون با انرژی 30keV بصورت عمود بر سطح و دزهایی در محدوده 1016×1 تا 1017×3 آرگون بر سانتی مترمربع مورد بمباران قرار گرفتند. تغییرات توپوگرافی بوجود آمده روی سطح سیلیکن, تولید تاولها و نحوه تحول آنها با تغییر دز توسط میکروسکپ نیروی اتمی مشاهده گردید. اندازه گیری ارتفاع متوسط نشان می دهد که در دزهای بالای 1017×3 ارتفاع بطور خطی بدلیل کند و پاش کاهش می یابد. خصوصیات اپتیکی نمونه ها نیز بعد از تابش آرگون بوسیله طیف نگار نوری UV-Vis-NIR اندازه گیری شدند.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • استناددهی

    APA: کپی

    ساری، امیرحسین، قرآن نویس، محمود، شکوهی، علی، شریعتی، معصومه، و رمضانی، امیرهوشنگ. (1385). توپوگرافی سیلیکن پس از بمباران توسط یونهای کم انرژی آرگون. علوم پایه (دانشگاه آزاد اسلامی)، 16(59 (ویژه نامه فیزیک))، 12-16. SID. https://sid.ir/paper/70329/fa

    Vancouver: کپی

    ساری امیرحسین، قرآن نویس محمود، شکوهی علی، شریعتی معصومه، رمضانی امیرهوشنگ. توپوگرافی سیلیکن پس از بمباران توسط یونهای کم انرژی آرگون. علوم پایه (دانشگاه آزاد اسلامی)[Internet]. 1385؛16(59 (ویژه نامه فیزیک)):12-16. Available from: https://sid.ir/paper/70329/fa

    IEEE: کپی

    امیرحسین ساری، محمود قرآن نویس، علی شکوهی، معصومه شریعتی، و امیرهوشنگ رمضانی، “توپوگرافی سیلیکن پس از بمباران توسط یونهای کم انرژی آرگون،” علوم پایه (دانشگاه آزاد اسلامی)، vol. 16، no. 59 (ویژه نامه فیزیک)، pp. 12–16، 1385، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/70329/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

    مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.
  • کارگاه های پیشنهادی






    بازگشت به بالا
    telegram sharing button
    whatsapp sharing button
    linkedin sharing button
    twitter sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    sharethis sharing button