مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

مقاله طرح

مشخصات مقاله

مجری: واحد صنعتی شریف
سال:1374 | تاریخ پایان: اسفند 1374

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

318
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

0
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات طرح

عنوان

ساخت «ماسک رتیکل کروی»

نهاد حامی(کارفرما)

 جهاد دانشگاهی

نویسندگان

کورس-حمزه

صفحات

 صفحه شروع | صفحه پایان

کلیدواژه

ثبت نشده است

چکیده

 هدف طرح، ساخت یک ماسک مخصوص روی سطحی با شعاع انحنای 30 میلی متر و با قطر حدود 25 میلی متر بوده است. ساخت این ماسک با امکانات عکس برداری متداول در کشور وجود نداشته، از این رو از روش «لیتوگرافی با پرتوالکترون» استفاده شده و عرض خطوط به کمک قطر پرتو کنترل شده است. برای تهیه کپی ماسک با عرض خط چند برابر، از روش حرکت ماسک تحت کنترل کامپیوتر در حین پرتودهی ماوراء بنفش استفاده شده است. خلاصه ای از فعالیت های انجام شده: - بررسی روش های مختلف انتقال طرح به سطح کروی و استفاده از تابش پرتو الکترونی با توجه به قابلیت های سیستم میکروسکوپ الکترونی موجود در این جهاد - اضافه نمودن مکانیزم های حرکت اتوماتیک «سکو» و کنترل روشن و خاموش شدن پرتو تحت فرمان کامپیوتر به سیستم - تهیه نرم افزار لازم برای هدایت سیستم طبق الگوی مورد نظر - بررسی شرایط پرتودهی ماده حساس به منظور بررسی و تعیین وضعیت بهینه - اندازه گیری انحراف های غیرخطی و تکرارپذیر حرکت سکو و جبران آن ها به کمک نرم افزار - انجام موفق عملیات پرتودهی

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • استناددهی

    APA: کپی

    حمزه، کورس. (اسفند 1374). ساخت «ماسک رتیکل کروی». تهران، ایران: مراکز جهاد دانشگاهی. https://sid.ir/paper/788857/fa

    Vancouver: کپی

    حمزه کورس. [Internet]. ساخت «ماسک رتیکل کروی». تهران، ایران: مراکز جهاد دانشگاهی؛ اسفند 1374. Available from: https://sid.ir/paper/788857/fa

    IEEE: کپی

    کورس حمزه، “ساخت «ماسک رتیکل کروی»،” ایران، مراکز جهاد دانشگاهی، اسفند 1374. [Online]. Available: https://sid.ir/paper/788857/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

  • ثبت نشده است.
  • مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.
  • کارگاه های پیشنهادی






    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    بازگشت به بالا
    telegram sharing button
    whatsapp sharing button
    linkedin sharing button
    twitter sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    sharethis sharing button