مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

مقاله مقاله نشریه

مشخصات مقاله

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

23
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات مقاله نشریه

عنوان

بررسی تحولات ساختاری لایه نازک کربن شبه الماس ایجاد شده توسط فنّاوری رسوب دهی پرتو یونی تحت تاثیر دمای زیرلایه

صفحات

 صفحه شروع 31 | صفحه پایان 42

چکیده

 دمای زیرلایه نقش مهمی در تحرک گونه­ های کربنی و سازوکار رشد و تشکیل لایه کربن آمورف با مشخصه شبه ­الماسه دارد. ساختار کربن آمورف تحت تأثیر دمای زیرلایه می­ تواند به سمت ساختار شبه ­الماسه و شبه ­گرافیته ­تغییر کند. از­این­رو در پژوهش حاضر, تغییرات ساختاری پوشش کربن شبه ­الماس با تغییر دمای زیرلایه توسط فرایند رسوب­دهی پرتو یونی مورد بررسی قرار گرفت. برای این منظور, پارامتر دمای زیرلایه جهت لایه ­نشانی پوشش کربن شبه­الماس, مقادیر 80, 110 و 140 درجه سلسیوس در نظر گرفته شد. جهت ارزیابی ساختار و ترکیب شیمیایی پوشش­ های ایجادشده تحت تأثیر دمای زیرلایه, از آنالیزهای طیف ­سنجی رامان و فوتوالکترون پرتوی ایکس (XPS) و برای ارزیابی ضخامت و زبری سطح پوشش­ های اعمالی, از میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM) و نیروی اتمی (AFM) استفاده شد. مطابق با نتایج, کمترین مقدار زبری سطح پوشش کربن شبه­ الماس, در دمای زیرلایه 110 درجه سلسیوس مشاهده شد. همچنین کمترین مقدار ID/IG و بیشترین میزان پیوند Sp3, در دمای زیرلایه 110 درجه سلسیوس بدست آمد.

چندرسانه ای

  • ثبت نشده است.

    • استنادها

  • ثبت نشده است.

    • ارجاعات

  • ثبت نشده است.

    • استناددهی

    مقالات مرتبط نشریه ای

  • ثبت نشده است.

    • مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.

    • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.

    • کارگاه های پیشنهادی






    بازگشت به بالا
    telegram sharing button
    whatsapp sharing button
    linkedin sharing button
    twitter sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    sharethis sharing button