مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی
Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

550
Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

530
Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات مقاله نشریه

عنوان

طراحی گیج خلأ یونی کاتد گرم به صورت آرایه مبتنی بر MEMS

صفحات

 صفحه شروع 317 | صفحه پایان 329

چکیده

 اندازه گیری خلأ HVو UHV تا فشار 12-10 تور از سال 1950 میلادی تاکنون با گیج یونی کاتد گرم موسوم به "بایارد آلپرت" انجام می گیرد. کارهای تحقیقاتی انجام شده روی گیج یونی نوع MEMS کافی نبوده و تاکنون تجاری سازی نشده است. در این مقاله انواع حس گر خلأ نوع MEMS و غیر MEMS که بتوانند خلأ HV و UHV را اندازه بگیرند, معرفی می شوند. این مقاله یک ایده گیج خلأ یونی مبتنی بر فناوری MEMS به صورت آرایه و نیز طراحی و شبیه سازی آن را ارائه می کند. اندازه گیج یونی پیشنهادی 3×1. 2mm5×1 بوده و حداقل 3000 برابر کوچک تر از نوع مرسوم (بایارد آلپرت) است. مصرف توان الکتریکی در این طرح 50 برابر کمتر از نوع مرسوم است. ساختار طرح پیشنهادی شامل کلکتور, کاتد و شبکه آند از نوع مرسوم متفاوت بوده و مبتنی بر فنّاوری MEMS است. کاتد در این طرح از جنس نیکل بوده و می تواند در دمای ℃ 750 الکترون فکنی نماید. طرح کاتد طوری است که دما در طول آن تقریباً یکنواخت و مستقل از فشار خلأ است. طرح پیشنهادی دارای ضریب حساسیت 0. 6 در محدوده اندازه گیری 3-10 الی 7-10×2 تور است. ضریب حساسیت در این طرح 20 برابر کمتر از نوع مرسوم است که عیب این طرح را نشان می دهد.

استنادها

  • ثبت نشده است.

    • ارجاعات

  • ثبت نشده است.

    • استناددهی

    APA: کپی

    عباسپورثانی، ابراهیم، و محمدزاده بازارچی، صادق. (1398). طراحی گیج خلأ یونی کاتد گرم به صورت آرایه مبتنی بر MEMS. مهندسی برق (دانشکده فنی دانشگاه تبریز)، 49(1 (پیاپی 87) )، 317-329. SID. https://sid.ir/paper/256560/fa

    Vancouver: کپی

    عباسپورثانی ابراهیم، محمدزاده بازارچی صادق. طراحی گیج خلأ یونی کاتد گرم به صورت آرایه مبتنی بر MEMS. مهندسی برق (دانشکده فنی دانشگاه تبریز)[Internet]. 1398؛49(1 (پیاپی 87) ):317-329. Available from: https://sid.ir/paper/256560/fa

    IEEE: کپی

    ابراهیم عباسپورثانی، و صادق محمدزاده بازارچی، “طراحی گیج خلأ یونی کاتد گرم به صورت آرایه مبتنی بر MEMS،” مهندسی برق (دانشکده فنی دانشگاه تبریز)، vol. 49، no. 1 (پیاپی 87) ، pp. 317–329، 1398، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/256560/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

    مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.

    • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.

    • کارگاه های پیشنهادی






    بازگشت به بالا