APA:
کپیوحدتی، مهرداد، و عاملی کلخوران، سیدعادل. (1399). ارتقاء نانومتری صافی سطح ساچمه های سیلیکون نیتراید (Si3N4) با استفاده از پرداختکاری شیمیایی-مکانیکی (CMP). مهندسی مکانیک دانشگاه تبریز، 50(2 (پیاپی 91) )، 253-260. SID. https://sid.ir/paper/270178/fa
Vancouver:
کپیوحدتی مهرداد، عاملی کلخوران سیدعادل. ارتقاء نانومتری صافی سطح ساچمه های سیلیکون نیتراید (Si3N4) با استفاده از پرداختکاری شیمیایی-مکانیکی (CMP). مهندسی مکانیک دانشگاه تبریز[Internet]. 1399؛50(2 (پیاپی 91) ):253-260. Available from: https://sid.ir/paper/270178/fa
IEEE:
کپیمهرداد وحدتی، و سیدعادل عاملی کلخوران، “ارتقاء نانومتری صافی سطح ساچمه های سیلیکون نیتراید (Si3N4) با استفاده از پرداختکاری شیمیایی-مکانیکی (CMP)،” مهندسی مکانیک دانشگاه تبریز، vol. 50، no. 2 (پیاپی 91) ، pp. 253–260، 1399، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/270178/fa