Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

مقاله مقاله نشریه

مشخصات مقاله

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

741
Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

501
Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات مقاله نشریه

عنوان

سنتز کنترل شده میکروساختارهای دوبعدی منظم در پلاسماهای فعال با چگالی بالا

صفحات

 صفحه شروع 49 | صفحه پایان 60

چکیده

 هدف از این کار, بررسی دینامیک یون ها, الکترون ها و نانوذرات باردار درون غلاف پلاسمای غباری, به منظور تعیین شرایط مناسب جهت نهشت کنترل شده و گزینشی ذرات پلاسما روی سطح یک زیرلایه طرح دار شامل آرایه ای از میکروساختارهای منظم است. روش مورد استفاده در این مطالعه, شبیه سازی عددی معادلات سیالی توصیف کننده دینامیک ذرات پلاسما درون غلاف پلاسمایی است. نتایج به دست آمده نشان می دهد, با افزایش چگالی الکترونی میزان کانونی کنندگی میدان الکتریکی نانوساختار بیشتر می شود, لذا نانوساختارها با نسبت نمود بالا تولید می شود. افزایش دمای الکترونی باعث کاهش بار نانوذرات و در نتیجه کاهش شار آن ها بر روی نانوساختار می شود. با افزایش چگالی تعداد و عدد ماخ نانوذرات, شار فرودی بر روی نانوساختارها و به تبع آن آهنگ رشد آن ها افزایش می یابد. به علاوه شار فرودی با افزایش ارتفاع و دوره تناوب میکروطرح رشد پیدا می کند. از یافته های حاضر می توان نتیجه گرفت که برای رسیدن به آهنگ نهشت بالا و نانوساختارهایی با نسبت نمود بزرگ, باید از یک پلاسمای چگال با دمای پایین و نانوذرات با سرعت فرودی بالا و میکروطرح با دوره تناوب نسبتا بزرگ استفاده نمود.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • استناددهی

    APA: کپی

    مروی، زهرا، و فروتن، غلامرضا. (1390). سنتز کنترل شده میکروساختارهای دوبعدی منظم در پلاسماهای فعال با چگالی بالا. علوم و مهندسی سطح، -(12)، 49-60. SID. https://sid.ir/paper/121123/fa

    Vancouver: کپی

    مروی زهرا، فروتن غلامرضا. سنتز کنترل شده میکروساختارهای دوبعدی منظم در پلاسماهای فعال با چگالی بالا. علوم و مهندسی سطح[Internet]. 1390؛-(12):49-60. Available from: https://sid.ir/paper/121123/fa

    IEEE: کپی

    زهرا مروی، و غلامرضا فروتن، “سنتز کنترل شده میکروساختارهای دوبعدی منظم در پلاسماهای فعال با چگالی بالا،” علوم و مهندسی سطح، vol. -، no. 12، pp. 49–60، 1390، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/121123/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

    مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.
  • کارگاه های پیشنهادی






    بازگشت به بالا