مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

مقاله مقاله نشریه

مشخصات مقاله

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

15
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات مقاله نشریه

عنوان

تأثیر توان بسامد رادیویی در لایه نشانی کندوپاش دو کاتدی بر خواص نوری، ساختاری و الکتریکی لایه های نازک Cu-DLC

نویسندگان

   | صدور گواهی نویسنده 

صفحات

 صفحه شروع 341 | صفحه پایان 353

چکیده

 در این مطالعه, تأثیر غلظت ذرات مس بر ساختار, خواص الکتریکی و نوری لایه­های کربن شبه­الماسی مورد ارزیابی قرار گرفت. لایه ها با استفاده از روش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم و بسامد رادیویی همزمان سنتز شده­اند و رابطۀ آنها با عناصر فعال شیمیایی تولید شده در پلاسما مورد بررسی قرار گرفت. همچنین اثر توان منبع تغذیۀ بسامد رادیویی بر روند تغییرات ساختاری, الکتریکی و نوری لایه­ها مطالعه شد. طیف­سنجی رامان نشان می­دهد در ساختار پیوندی, مکان قلۀ G از 1584 تا 1590 (cm-1) و نسبت ID/IG از 85/0 تا 22/2 افزایش می­یابد که بیان کنندۀ کاهش ساختار شیمیایی SP3 نسبت به SP2 است. به منظور بررسی گونه­های فعال شیمیایی غالب در محیط پلاسما, طیف­سنجی نشری نوری (OES) انجام شد. با افزایش توان منبع تغذیۀ بسامد رادیویی شدت قله­های گونه­های فعال Cu در محیط پلاسمایی تا حدودی افزایش یافته و گونه­های فعال کربنی به طور نسبی ثابت بوده است. نتایج نشان می­دهد که با افزایش توان منبع تغذیۀ بسامد رادیویی از10 تا W25 و ثابت نگه داشتن توان منبع تغذیۀ جریان مستقیم در توان W100, ضریب جذب نوری لایه­ها روند کاهشی داشته است. شکاف نوار انرژی لایه­ها که با استفاده از روش برون­یابی معادلۀ تائوک به دست آمده است با روندی کاهشی ازeV 53/1 به eV79/0 رسیده است. ضریب شکست لایه­ها با استفاده از روش بیضی­سنجی مورد تحلیل قرار گرفته است. مقاومت نمونه­ها با افزایش توان منبع تغذیۀ بسامد رادیویی, روند ثابت و یکسانی را طی نکرده و در ابتدا روندی کاهشی و سپس به دلیل تغییر در غلظت ذرات مس در نمونه­ها افزایش یافته است

چندرسانه ای

  • ثبت نشده است.

    • استنادها

  • ثبت نشده است.

    • ارجاعات

  • ثبت نشده است.

    • استناددهی

    مقالات مرتبط نشریه ای

  • ثبت نشده است.

    • مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.

    • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.

    • کارگاه های پیشنهادی






    بازگشت به بالا
    telegram sharing button
    whatsapp sharing button
    linkedin sharing button
    twitter sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    sharethis sharing button