Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

مقاله مقاله نشریه

مشخصات مقاله

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

801
Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

534
Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات مقاله نشریه

عنوان

طراحی و ساخت میکروهیتر بهبود یافته با الکترودهایی از جنس طلا و مقایسه عملکرد آن با میکروهیتر پلاتینی

صفحات

 صفحه شروع 259 | صفحه پایان 272

چکیده

 با پیشرفت ریزفناوری میکروماشین کاری و میکروالکترونیک, میکروهیترها کاربردهای زیادی در میکروحسگرها پیدا کرده اند. جنس الکترود گرم کننده, یکی از عوامل تاثیرگذار در میزان اتلاف توان, پاسخ زمانی و حساسیت میکروهیتر است. در این مقاله دو میکروهیتر با هندسه یکسان, اما با دو فلز مختلف بر روی بستر سیلیکون و بر پایه فناوری میکروماشین کاری حجمی (MEMS) طراحی, ساخته و مشخصه یابی شده اند. در میکروهیتر اول از طلا و در میکروهیتر دوم از پلاتین به عنوان الکترود گرم کننده استفاده شده و تاثیر جنس الکترود گرم کننده بر روی میزان عملکرد میکروهیتر بررسی شده است. در ضمن برای بهبود کارایی میکروهیترها, طراحی آن ها مورد بررسی قرار گرفته و میکروهیتر با طراحی بهینه انتخاب شده است. نتایج تحلیل تئوری نشان می دهد که میکروهیتر طلایی دارای پاسخ زمانی کمتر و توان مصرفی بیشتری نسبت به میکروهیتر پلاتینی می باشد. نتایج آزمایشگاهی به دست آمده, نتایج حاصل از تحلیل تئوری را تصدیق می کند و نشان می دهد که میکروهیترهای ساخته شده با طراحی بهینه, دارای عملکرد بالایی هستند, به طوریکه برای رسیدن به دمای بالای 450oC, توان مصرفی و پاسخ زمانی در میکروهیتر طلایی به ترتیب 36mW و 1.75ms و در میکروهیتر پلاتینی به ترتیب 30mW و 2.1ms می باشند. این نتایج نشان می دهند که با ساختن میکروهیترهایی از جنس طلا پاسخ زمانی 16.6% در مقایسه با میکروهیتر پلاتینی بهبود می یابد.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • استناددهی

    APA: کپی

    سمائی فر، فاطمه، عفیفی، احمد، و عبدالهی، حسن. (1395). طراحی و ساخت میکروهیتر بهبود یافته با الکترودهایی از جنس طلا و مقایسه عملکرد آن با میکروهیتر پلاتینی. مکانیک سازه ها و شاره ها، 6(1)، 259-272. SID. https://sid.ir/paper/212802/fa

    Vancouver: کپی

    سمائی فر فاطمه، عفیفی احمد، عبدالهی حسن. طراحی و ساخت میکروهیتر بهبود یافته با الکترودهایی از جنس طلا و مقایسه عملکرد آن با میکروهیتر پلاتینی. مکانیک سازه ها و شاره ها[Internet]. 1395؛6(1):259-272. Available from: https://sid.ir/paper/212802/fa

    IEEE: کپی

    فاطمه سمائی فر، احمد عفیفی، و حسن عبدالهی، “طراحی و ساخت میکروهیتر بهبود یافته با الکترودهایی از جنس طلا و مقایسه عملکرد آن با میکروهیتر پلاتینی،” مکانیک سازه ها و شاره ها، vol. 6، no. 1، pp. 259–272، 1395، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/212802/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

    مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.
  • کارگاه های پیشنهادی






    بازگشت به بالا