APA:
کپیاسفندیاری، مهرناز، اسدی، رضا، حیدری، پیام، و شمسی، علیرضا. (1394). ساخت میکرو عملگر الکتروستاتیکی با استفاده از پلیمر SU-8 جهت استفاده در ادوات MEMS با دیافراگم پیوسته. صنایع الکترونیک، 6(3)، 81-87. SID. https://sid.ir/paper/229666/fa
Vancouver:
کپیاسفندیاری مهرناز، اسدی رضا، حیدری پیام، شمسی علیرضا. ساخت میکرو عملگر الکتروستاتیکی با استفاده از پلیمر SU-8 جهت استفاده در ادوات MEMS با دیافراگم پیوسته. صنایع الکترونیک[Internet]. 1394؛6(3):81-87. Available from: https://sid.ir/paper/229666/fa
IEEE:
کپیمهرناز اسفندیاری، رضا اسدی، پیام حیدری، و علیرضا شمسی، “ساخت میکرو عملگر الکتروستاتیکی با استفاده از پلیمر SU-8 جهت استفاده در ادوات MEMS با دیافراگم پیوسته،” صنایع الکترونیک، vol. 6، no. 3، pp. 81–87، 1394، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/229666/fa