مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی
Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

437
Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

473
Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات مقاله نشریه

عنوان

بهبود خواص الکتریکی و اپتیکی لایه نازک ITO با اصلاح فاصله الکترودها در سامانه اسپاترینگ DC مگنترونی

صفحات

 صفحه شروع 351 | صفحه پایان 359

چکیده

 یکی از پارامترهای مهم در لایه نشانی لایه های نازک اکسید ایندیوم-قلع (ITO) به روش کندوپاش مگنترونی, فاصله الکترودها است که با تغییر آن شرایط پلاسمای رسوب تغییر می کند. در این تحقیق لایه های نازک ITO به روش کندوپاش مگنترونی DC, با تغییر فاصله الکترودها در گستره cm 5-11, بر بستر شیشه در دمای اتاق رسوب داده شده است. تحت شرایط فوق ضخامت نمونه ها در محدوده nm 110-370, متوسط اندازه دانه های کریستالی برای نمونه لایه نشانی شده در فاصله مطلوب cm 7 برابر با nm5± 50 و جذر میانگین مربعات زبری سطح برابر با nm 97/1 به دست آمده است. همچنین مشاهده شد که لایه نازک ITO دارای ساختار مکعبی بیکس بایت می باشد. مقاومت ورقه ای لایه های نازک ITO در فواصل 5, 7, 9 و cm 11 به ترتیب برابر با 7/17, 16, 1733 و □ /Ω 5207 انداز ه گیری شده اند. شفافیت لایه های نازک رسوب داده شده در بازه nm400-800, در محدوده 85-75% متغیر است. بر اساس نتایج برای فاصله الکترودهای cm 7, مقاومت ورقه ای ITO تا □ /Ω 16 کاهش می یابد و در عین حال برای ضخامت nm 230, شفافیت آن 85% است که برای استفاده به عنوان کنتاکت در سلول خورشیدی سیلیکن آمورف بسیار مناسب است. علاوه بر نتایج عملی, آنالیز داده ها به کمک نرم افزارهای MATLAB و X'Pert و شبیه سازی پلاسما به کمک نرم افزار شبیه ساز پلاسما xpdp1 انجام شده است.

استنادها

  • ثبت نشده است.

    • ارجاعات

  • ثبت نشده است.

    • استناددهی

    APA: کپی

    کوثریان، عبدالنبی، کرامت زاده، علیرضا، شکیبا، مریم، کعبی، هومان، و فرشیدی، ابراهیم. (1399). بهبود خواص الکتریکی و اپتیکی لایه نازک ITO با اصلاح فاصله الکترودها در سامانه اسپاترینگ DC مگنترونی. مهندسی برق (دانشکده فنی دانشگاه تبریز)، 50(1 (پیاپی 91) )، 351-359. SID. https://sid.ir/paper/389469/fa

    Vancouver: کپی

    کوثریان عبدالنبی، کرامت زاده علیرضا، شکیبا مریم، کعبی هومان، فرشیدی ابراهیم. بهبود خواص الکتریکی و اپتیکی لایه نازک ITO با اصلاح فاصله الکترودها در سامانه اسپاترینگ DC مگنترونی. مهندسی برق (دانشکده فنی دانشگاه تبریز)[Internet]. 1399؛50(1 (پیاپی 91) ):351-359. Available from: https://sid.ir/paper/389469/fa

    IEEE: کپی

    عبدالنبی کوثریان، علیرضا کرامت زاده، مریم شکیبا، هومان کعبی، و ابراهیم فرشیدی، “بهبود خواص الکتریکی و اپتیکی لایه نازک ITO با اصلاح فاصله الکترودها در سامانه اسپاترینگ DC مگنترونی،” مهندسی برق (دانشکده فنی دانشگاه تبریز)، vol. 50، no. 1 (پیاپی 91) ، pp. 351–359، 1399، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/389469/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

  • ثبت نشده است.

    • مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.

    • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.

    • کارگاه های پیشنهادی






    بازگشت به بالا