بررسی ساختار بلوری به روش های آنالیز به وسیله باریکه یونی، افق جدیدی از درک ساختار بلوری و نقص های موجود در بلور را امروزه به روی پژوهشگران گشوده است. در این مقاله بطور خلاصه مفاهیم و کاربردهای آنالیز RBS-Channeling در بررسی ساختار بلوری مواد معرفی می شود؛ مختصری هم از کاربردهای این روش آنالیز در زمینه بررسی نمونه های نیمرسانا گنجانده شده است.