خازن فلز-اکسید-نیمه رسانا بر اساس تغییر در تابع کار فلز، گاز هیدروژن را آشکارسازی می کند. نانوذرات پالادیم به روش شیمیایی سنتز شده و با استفاده از آنالیز های TEM و طیف UV مشخصه یابی شده اند. تاثیر نانوذرات پالادیم به عنوان فلز کاتالیزوری بر روی زمان پاسخ دهی و زمان برگشت پذیری مورد بررسی قرار گرفته است. همچنین میزان جذب و واجذب گاز هیدروژن در نانوذرات پالادیم بر حسب فشار گزارش شده است. نتایج نشان می دهند که ساختار Pd/SiO2/Si یک نانوحسگر خازنی با سرعت پاسخ دهی بالا برای آشکارسازی گاز هیدروژن می باشد. مقایسه میان غلظت های 1 و 2% هیدروژن در نیتروژن نشان می دهد که با افزایش غلظت گاز هیدروژن زمان پاسخ دهی از 2 به s 5/1 کاهش یافته است. نتایج بدست آمده نشان می دهند که پاسخ دهی نانوحسگر با استفاده از نانوذرات پالادیم بهبود یافته است.