مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

مقاله مقاله نشریه

مشخصات مقاله

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

548
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

541
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات مقاله نشریه

عنوان

طراحی فرآیند ساخت ساده و کم هزینه جهت پیاده سازی آرایه ای از تیرک های یک سر آزاد دو ماده ای بر اساس فناوری MEMS

صفحات

 صفحه شروع 85 | صفحه پایان 92

چکیده

 هدف این مقاله, معرفی یک طراحی فرآیند ساخت ساده به منظور پیاده سازی آرایه ای از میکرو تیرک های یک سر آزاد دو ماده ای از جنس SiO2/Al است که مبتنی برپایه فناوری میکرو ماشین کاری حجمی می باشد. به کمک این فرآیند می-توان تیرک های دوماده ائی را در آزمایشگاه های تحقیقاتی با امکانات محدود پیاده سازی نمود. از نتایج حاصل از این مقاله می توان برای ساخت حساسه ها بر پایه تیرک های یک سر آزاد از جنس SiO2/Al استفاده نمود. بزرگ ترین مشکل فنی در ساخت این نوع از تیرک ها به روش میکرو ماشین کاری حجمی, حفاظت از Al در داخل زدایشگرهای سیلیکون از قبیل KOH, EDP و TMAH است که در این روش از زدایشگر سیلیکون Dual doped TMAH استفاده شده است. این فرآیند با سه عملیات لیتوگرافی یک طرفه و یک عملیات لیتوگرافی دوطرفه توسط دو ماسک کرمی و یک ماسک پلاستیکی شفاف تحقق یافته است. همچنین با استفاده از معلق سازی تیرک ها به روش رهاسازی تر در دمای محیط از پیچیدگی رهاسازی تیرک ها از لایه قربانی اجتناب شده است. با این فرآیند, آرایه ای از تیرک های یک سر آزاد دو ماده-ای به طول های μ m50, 100, 150, 200, 250, 300, 350 و 400 و به عرض های μ m20 و 40 باضخامت μ m1 برای SiO2 و nm200 برای Al ساخته شده اند.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • استناددهی

    APA: کپی

    عبدالهی، حسن. (1396). طراحی فرآیند ساخت ساده و کم هزینه جهت پیاده سازی آرایه ای از تیرک های یک سر آزاد دو ماده ای بر اساس فناوری MEMS. صنایع الکترونیک، 8(3 )، 85-92. SID. https://sid.ir/paper/229710/fa

    Vancouver: کپی

    عبدالهی حسن. طراحی فرآیند ساخت ساده و کم هزینه جهت پیاده سازی آرایه ای از تیرک های یک سر آزاد دو ماده ای بر اساس فناوری MEMS. صنایع الکترونیک[Internet]. 1396؛8(3 ):85-92. Available from: https://sid.ir/paper/229710/fa

    IEEE: کپی

    حسن عبدالهی، “طراحی فرآیند ساخت ساده و کم هزینه جهت پیاده سازی آرایه ای از تیرک های یک سر آزاد دو ماده ای بر اساس فناوری MEMS،” صنایع الکترونیک، vol. 8، no. 3 ، pp. 85–92، 1396، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/229710/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

    مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.
  • کارگاه های پیشنهادی






    بازگشت به بالا
    telegram sharing button
    whatsapp sharing button
    linkedin sharing button
    twitter sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    sharethis sharing button