مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

362
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

506
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات مقاله نشریه

عنوان

مطالعه و بررسی کمّی و کیفی پارامترهای مؤثر در انجام لیتوگرافی سطح با میکروسکوپ تونلی روبشی

صفحات

 صفحه شروع 17 | صفحه پایان 34

چکیده

 در این مطالعه امکان انجام لیتوگرافی در مقیاس نانومتری در شرایط اتمسفر محیطی با کمک میکروسکوپ STM بررسی و پارامترهای بهینه برای انجام این کار مشخص شد, تا گام نخستی برای پیشرفت های آینده در زمینه ی ساخت نانوزیست تراشه ها و سامانه های نانوالکترومکانیکی برای تشخیص و بعضاً درمان در زمینه ی پزشکی باشد. آزمایش ها نشان داد که لیتوگرافی با میکروسکوپ STM با تکرارپذیری بسیار خوبی انجام می شود. به کمک میکروسکوپ STM, ابتدا نانوساختارهایی به شکل نقاط برآمده بر سطح ایجاد شد. نانوساختارها بر سطوح طلا به وسیله ی نوک های تنگستن, طلا, پلاتین پالادیوم و رمانیم ایجاد شد و هدایت الکتریکی طلا با مقاومت الکتریکی 9-10×1/22 در روند ساخت نانوساختارها نتایج بهتری را نشان داد. مشخص شد که ولتاژ استفاده شده در لیتوگرافی در ایجاد نانوساختار تأثیرگذار است, همچنین این عامل در اندازه ی نانوساختارها نیز مؤثر است به طوری که با افزایش ولتاژ اندازه ی نانوساختارها نیز بزرگ می شود. به علاوه, سرعت حرکت نوک در حین انجام لیتوگرافی عامل مؤثر دیگری است که در اندازه ی نانو ساختار و پیوستگی آن تأثیرگذار است. زمان بین تپ های متوالی نیز در مرتب بودن نانوساختارها و پیوستگی آن ها مؤثر است و باید بر حسب شرایط و هدف لیتوگرافی مقدار آن مشخص شود. اندازه ی نانوساختارهای ایجادشده در این مطالعه بین 20 تا 150 نانومتر بود. انجام فرایند لیتوگرافی به صورت کاملاً تکرارپذیر تا حداقل ولتاژ 3 ولت و حداکثر سرعت 150 نانومتر در ثانیه بر سطح طلا صورت گرفت. شکل هندسی نوک, رطوبت و دما نیز احتمالاً جزء عامل های تأثیرگذارند که بررسی تأثیر این پارامترها مستلزم مطالعات بیشتر است.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • استناددهی

    APA: کپی

    صابر، رضا، کریمی مشکانی، منصوره، براتلو، ایرج، و عابدینی، میترا. (1399). مطالعه و بررسی کمّی و کیفی پارامترهای مؤثر در انجام لیتوگرافی سطح با میکروسکوپ تونلی روبشی. فیزیک کاربردی ایران، 10(3 (پیاپی 22) )، 17-34. SID. https://sid.ir/paper/404621/fa

    Vancouver: کپی

    صابر رضا، کریمی مشکانی منصوره، براتلو ایرج، عابدینی میترا. مطالعه و بررسی کمّی و کیفی پارامترهای مؤثر در انجام لیتوگرافی سطح با میکروسکوپ تونلی روبشی. فیزیک کاربردی ایران[Internet]. 1399؛10(3 (پیاپی 22) ):17-34. Available from: https://sid.ir/paper/404621/fa

    IEEE: کپی

    رضا صابر، منصوره کریمی مشکانی، ایرج براتلو، و میترا عابدینی، “مطالعه و بررسی کمّی و کیفی پارامترهای مؤثر در انجام لیتوگرافی سطح با میکروسکوپ تونلی روبشی،” فیزیک کاربردی ایران، vol. 10، no. 3 (پیاپی 22) ، pp. 17–34، 1399، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/404621/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

    مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.
  • کارگاه های پیشنهادی






    بازگشت به بالا
    telegram sharing button
    whatsapp sharing button
    linkedin sharing button
    twitter sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    sharethis sharing button