مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

مقاله مقاله نشریه

مشخصات مقاله

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

832
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

0
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات مقاله نشریه

عنوان

لایه نشانی چندلایه Al/Cu بوسیله سیستم کندوپاش مگنترون DC با دو هدف سیلندری

صفحات

 صفحه شروع 0 | صفحه پایان 0

کلیدواژه

ثبت نشده است

چکیده

 دستگاه کندوپاش مغناطیسی با دوتارگت جهت تهیه چند لایه های نازک بویژه لایه های نازک جاذب خورشیدی (سرمت) طراحی و ساخته شد. چند لایه های نازک آلومینیم / مس روی زیرلایه های شیشه ای در فشار کاری 1 پاسکال و جریان کاتد 4 آمپر و ولتاژ کاتد 600 ولت انباشت شده است. آنالیزهای پراش اشعه ایکس (XRD) و میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) برای تعیین فازهای کریستالی و مطالعه مورفولوژی لایه ها مورد استفاده قرار گرفته است. پروفایل عناصر توسط دستگاه اسپکتروسکوپی نشری تخلیه نورانی (GD-OES) تعیین گردیده است. سیستم لایه نشانی شامل دو تارگت استوانه ای می باشد که به طور مستقل عمل نموده و در طی انباشت به طور همزمان به وسیله یون های آرگن کندوپاش می شوند. داخل هر تارگت لوله ای،آهنرباهائی دائمی به شکل حلقه با شدت میدان مغناطیسی 290 گوس قرار دارند. جهت تغذیه سیستم پراکنش از دو منبع تغذیه با ورودی سه فاز برق شهر و خروجی DC منفی با ولتاژ قابل تنظیم 0-1000V و بیشینه جریان 12 A استفاده می شود. طراحی منبع تغذیه مخصوص محیط پلاسما بوده و به گونه ای است که در حین لایه نشانی دارای پایداری در توان بالا و ثبات ولتاژ خروجی و عملکرد مناسب در مقابل جریان های لحظه ای شدید است.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • استناددهی

    APA: کپی

    بلاش آبادی، پی.، اسدالهی، زد.، قاسمی، ام.، بختیاری، اچ.، و جعفری خمسه، ای.. (1392). لایه نشانی چندلایه Al/Cu بوسیله سیستم کندوپاش مگنترون DC با دو هدف سیلندری. نانوساختارها، 3(4)، 0-0. SID. https://sid.ir/paper/494070/fa

    Vancouver: کپی

    بلاش آبادی پی.، اسدالهی زد.، قاسمی ام.، بختیاری اچ.، جعفری خمسه ای.. لایه نشانی چندلایه Al/Cu بوسیله سیستم کندوپاش مگنترون DC با دو هدف سیلندری. نانوساختارها[Internet]. 1392؛3(4):0-0. Available from: https://sid.ir/paper/494070/fa

    IEEE: کپی

    پی. بلاش آبادی، زد. اسدالهی، ام. قاسمی، اچ. بختیاری، و ای. جعفری خمسه، “لایه نشانی چندلایه Al/Cu بوسیله سیستم کندوپاش مگنترون DC با دو هدف سیلندری،” نانوساختارها، vol. 3، no. 4، pp. 0–0، 1392، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/494070/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

    مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.
  • کارگاه های پیشنهادی






    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    فایل موجود نیست.
    بازگشت به بالا
    telegram sharing button
    whatsapp sharing button
    linkedin sharing button
    twitter sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    sharethis sharing button