مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

مقاله طرح

مشخصات مقاله

مجری: واحد صنعتی شریف
سال:1373 | تاریخ پایان: اسفند 1373

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

237
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

0
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات طرح

عنوان

نمونه سازی «ماسک ترانزیستور»

نهاد حامی(کارفرما)

 جهاد دانشگاهی

نویسندگان

 وحید-مساحتی

صفحات

 صفحه شروع | صفحه پایان

کلیدواژه

ثبت نشده است

چکیده

 در این طرح برای ساخت «ترانزیستور تحقیقاتی» ماسکی با حداقل عرض خطوط 8 میکرون تهیه گردید. از آنجایی که برای تکرار «لی آت» در ابعاد مورد نیاز با دقت تکرار کافی، دوربین کاهنده مناسب در داخل کشور وجود نداشت از یک روش ابداعی برای حل مشکل انطباق ماسک ها استفاده شده است. در این روش با ساخت پنج ماسک روی یک شیشه، خطای تطبیق ماسک ها کاملا حذف گردید. بدین ترتیب به جای پنج ماسک، یک ماسک حاوی پنج لی آت مختلف ساخته شد و علامت تطبیق به آن اضافه گردید. با این روش فقط در 20% از مساحت «ویفر»، ترانزیستور سالم ساخته می گردد که برای مرحله تحقیقات ساخت ترانزیستور کفایت می نماید. خلاصه ای از فعالیت های انجام شده: - بررسی روش های مختلف تهیه لی آت و ماسک با توجه به امکانات موجود - بررسی دقت تکرار دوربین کاهنده موجود - ابداع روش عملی برای حل مشکل خطای تطبیق ماسک ها - تهیه لی آت علامت تطبیق ماسک ها - تکرار طرح و تهیه ماسک 4×4 اینچ

استنادها

  • ثبت نشده است.

    • ارجاعات

  • ثبت نشده است.

    • استناددهی

    APA: کپی

    مساحتی، وحید. (اسفند 1373). نمونه سازی «ماسک ترانزیستور». تهران، ایران: مراکز جهاد دانشگاهی. https://sid.ir/paper/787656/fa

    Vancouver: کپی

    مساحتی وحید. [Internet]. نمونه سازی «ماسک ترانزیستور». تهران، ایران: مراکز جهاد دانشگاهی؛ اسفند 1373. Available from: https://sid.ir/paper/787656/fa

    IEEE: کپی

    وحید مساحتی، “نمونه سازی «ماسک ترانزیستور»،” ایران، مراکز جهاد دانشگاهی، اسفند 1373. [Online]. Available: https://sid.ir/paper/787656/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

  • ثبت نشده است.

    • مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.

    • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.

    • کارگاه های پیشنهادی






    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    بازگشت به بالا
    telegram sharing button
    whatsapp sharing button
    linkedin sharing button
    twitter sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    sharethis sharing button