مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

مقاله طرح

مشخصات مقاله

مجری: پژوهشکده توسعه تکنولوژی
سال:1386 | تاریخ پایان: بهمن 1386

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

549
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

0
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات طرح

عنوان

تولید لایه های نازک آمورف از مواد مغناطیسی نرم با روش اسپاترینگ

نهاد حامی(کارفرما)

 جهاد دانشگاهی

صفحات

 صفحه شروع | صفحه پایان

چکیده

 مواد مغناطیسی به صورت لایه نازک کاربردهای فراوانی در صنایع نظامی, الکتریک, کامپیوتر و... دارند. روش های انجماد سریع, تبخیر و اسپاترینگ از جمله روش های تولید لایه های نازک مغناطیسی می باشند که امروزه روش اسپاترینگ بسیار مورد توجه قرار گرفته است.در این پژوهش تولید لایه های نازک آمورف با خواص مغناطیسی نرم بر پایه ترکیب شیمیایی Co82Zr2Nb10 با توجه به کاربرد آن در سیستم های حفاظت الکترونیکی کالا, هدهای مغناطیسی و... با استفاده از روش DC-Magnetron Sputtering مورد توجه قرار گرفت.لایه مورد نظر پس از ساخت دیسک آلیاژی CoNbZr بعنوان تارگت بر روی زیرلایه های شیشه و مایلار (نوعی PET) نشانده شد. در این روش بعد از برقراری خلا در محفظه تارگت به منبع تغذیه با ولتاژ منفی وصل شد. نمونه مقابل تارگت در فاصله مورد نظر قرار گرفت. بعلت اختلاف پتانسیل ایجاد شده ذرات گاز آرگون درون محفظه یونیزه می شوند, در اثر برخورد این ذرات پرانرژی به سطح تارگت و بعلت انتقال اندازه حرکت از یون های مثبت گازی برخورد کرده به سطح تارگت, اتمهای تشکیل دهنده آن کنده شده و بر روی زیرلایه نشانده شدند.تعداد زیادی از آزمایش های انجام شده برای رسیدن به شرایط عملی انجام پذیری و پایداری انجام شدند. لایه نشانی این آلیاژ فرآیند پیچیده ای است که به پارامترهای زیادی بستگی دارد. بررسی هر یک از این پارامترها مستلزم ثابت نگه داشتن سایر پارامترها می باشد, که چنین قابلیتی در دستگاههای موجود در ایران وجود نداشت. بنابراین ترکیبی از اثر فاصله نمونه از تارگت و دمای زیرلایه مورد بررسی قرار گرفت, همچنین یک تست RF-Sputtering نیز انجام شد.نمونه های تولید شده با استفاده از XRD و SEM مورد بررسی قرار گرفتند.نتایج بررسی های لایه های نازک تولید شده نشان داد که ضخامت لایه ها ~30nm با ساختار آمورف و بعضا بهمراه مقداری فازهای نانوکریستالی است. نرخ لایه نشانی در روش (2.6 Ao/s) RF, در حدود 10 برابر نرخ لایه نشانی با روش (0.25 Ao/s) DC می باشد.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • استناددهی

    APA: کپی

    حسین پوری، معصومه، جزایری قره باغ، علی، و کیانی، مهدی. (بهمن 1386). تولید لایه های نازک آمورف از مواد مغناطیسی نرم با روش اسپاترینگ. تهران، ایران: مراکز جهاد دانشگاهی. https://sid.ir/paper/788446/fa

    Vancouver: کپی

    حسین پوری معصومه، جزایری قره باغ علی، کیانی مهدی. [Internet]. تولید لایه های نازک آمورف از مواد مغناطیسی نرم با روش اسپاترینگ. تهران، ایران: مراکز جهاد دانشگاهی؛ بهمن 1386. Available from: https://sid.ir/paper/788446/fa

    IEEE: کپی

    معصومه حسین پوری، علی جزایری قره باغ، و مهدی کیانی، “تولید لایه های نازک آمورف از مواد مغناطیسی نرم با روش اسپاترینگ،” ایران، مراکز جهاد دانشگاهی، بهمن 1386. [Online]. Available: https://sid.ir/paper/788446/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

  • ثبت نشده است.
  • مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.
  • کارگاه های پیشنهادی






    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

    فایل موجود نیست

    بازگشت به بالا
    telegram sharing button
    whatsapp sharing button
    linkedin sharing button
    twitter sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    sharethis sharing button