مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

مقاله طرح

مشخصات مقاله

مجری: واحد صنعتی شریف
سال:1388 | تاریخ پایان: اسفند 1388

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

769
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

0
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات طرح

عنوان

طرح بهینه سازی کاتد مگنترون RF اسپاترینگ (ویرایش سوم)

صفحات

 صفحه شروع | صفحه پایان

چکیده

 طرح بهینه سازی کاتد مگنترونRF  اسپاترینگ به منظور بهبود مشخصات فنی کاتد منگترون اسپاترینگ موجود ساخت مرکز فناوری خلا بالای جهاد دانشگاهی تعریف شده است. در این طرح برای اولین بار (در کشور) از نرم افزار ANSYS برای شبیه سازی میدان های مغناطیسی کاتد استفاده شد. با شناخت صحیح از محدودیت ها و قابلیت های فیزیکی و تکنولوژیکی موجود, به کمک نرم افزار طرح ابتدا به صورت مجازی بهینه سازی شد. سپس طرح نرم افزاری با ملاحظات مهندسی پیاده سازی گردید و مورد آزمایش های متعدد قرار گرفت. پارامترهای کمی مورد بررسی شامل شدت میدان مغناطیسی در سطح کاتد, حداکثر توان, حداکثر آهنگ لایه نشانی, میزان استفاده مفید از هدف, میزان ایزولاسیون الکتریکی و مشخصات کیفی مورد بررسی شامل سهولت مونتاژ و دمونتاژ, پایداری پلاسما, سهولت ساخت قطعات, قدرت خنک کنندگی هدف و کاهش وزن کاتد هستند. کاتد ساخته شده با طرح بهینه, دارای توان بیش از یک کیلووات در فشار کمتر از 50 میلی تور, آهنگ لایه نشانی نزدیک به 20 نانومتر در ثانیه می باشد. این کاتد با مولد RF و مدار تطبیق امپدانس در قدرت 600 وات نیز به خوبی کار می کند و محدوده تطبیق وسیعی در توان 200 وات مشاهده می شود.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • استناددهی

    APA: کپی

    حمزه، کورس، سلحشور، مصطفی، زواریان، علی اصغر، ایمانی، فرهاد، حافظی، فاطمه، و واعظی، سمیرا. (اسفند 1388). طرح بهینه سازی کاتد مگنترون RF اسپاترینگ (ویرایش سوم). تهران، ایران: مراکز جهاد دانشگاهی. https://sid.ir/paper/789175/fa

    Vancouver: کپی

    حمزه کورس، سلحشور مصطفی، زواریان علی اصغر، ایمانی فرهاد، حافظی فاطمه، واعظی سمیرا. [Internet]. طرح بهینه سازی کاتد مگنترون RF اسپاترینگ (ویرایش سوم). تهران، ایران: مراکز جهاد دانشگاهی؛ اسفند 1388. Available from: https://sid.ir/paper/789175/fa

    IEEE: کپی

    کورس حمزه، مصطفی سلحشور، علی اصغر زواریان، فرهاد ایمانی، فاطمه حافظی، و سمیرا واعظی، “طرح بهینه سازی کاتد مگنترون RF اسپاترینگ (ویرایش سوم)،” ایران، مراکز جهاد دانشگاهی، اسفند 1388. [Online]. Available: https://sid.ir/paper/789175/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

  • ثبت نشده است.
  • مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.
  • کارگاه های پیشنهادی






    مرکز اطلاعات علمی SID
    strs
    دانشگاه امام حسین
    بنیاد ملی بازیهای رایانه ای
    کلید پژوه
    ایران سرچ
    ایران سرچ
    مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

    فایل موجود نیست

    بازگشت به بالا
    telegram sharing button
    whatsapp sharing button
    linkedin sharing button
    twitter sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    sharethis sharing button