مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

مقاله مقاله همایش

مشخصات مقاله

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

307
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

153
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات مقاله همایش

عنوان

اثر فشار محفظه بررشد لایه های نانو کامپوزیت مس-کربن تهیه شده با کاربرد همزمان روشهای لایه نشانی RF-Sputtering و RF-PECVD

صفحات

 صفحه شروع | صفحه پایان

کلیدواژه

ثبت نشده است

چکیده

 لایه های نانو کامپوزیت مس-کربن به روش همزمان RF-PECVD، RF-Sputtering از گاز استیلن و هدف مس رشد داده ایم. فرایند رشد در ناحیه ای که با تغییر فشار محفظه فرایند به کندوپاش فیزیکی در توان ثابت و فشار بحرانی 1.5 تا 3 پاسکال تبدیل می شود، بررسی می شود. مقدار تخمینی انرژی متوسط یونها در این فشار بحرانی نزدیک به آستانه انرژی اسپاترینگ فیزیکی مس با یونهای استیلن است. با استفاده از این خاصیت و با تنظیم فشار اولیه از 1.3 تا 6.6 پاسکال لایه های نازک مس-کربن با محتویات مس متفاوت رشد داده ایم. محتویات مس این لایه ها با استفاده از پراکندگی راترفورد (RBS) واسپکتروسکپی امواج ایکس (XPS) تعیین شد. تصاویرمیکرسکوپ نیروی اتمی (AFM) و پراش امواج ایکس (XRD) بر تشکیل نانو ذرات مس دلالت دارند.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • استناددهی

    APA: کپی

    قدس الهی، طیبه، وساقی، محمدعلی، شفیع خانی، عزیزاله، و اولیایی، پروین. (1386). اثر فشار محفظه بررشد لایه های نانو کامپوزیت مس-کربن تهیه شده با کاربرد همزمان روشهای لایه نشانی RF-Sputtering و RF-PECVD. کنفرانس ملی خلاء ایران. SID. https://sid.ir/paper/810219/fa

    Vancouver: کپی

    قدس الهی طیبه، وساقی محمدعلی، شفیع خانی عزیزاله، اولیایی پروین. اثر فشار محفظه بررشد لایه های نانو کامپوزیت مس-کربن تهیه شده با کاربرد همزمان روشهای لایه نشانی RF-Sputtering و RF-PECVD. 1386. Available from: https://sid.ir/paper/810219/fa

    IEEE: کپی

    طیبه قدس الهی، محمدعلی وساقی، عزیزاله شفیع خانی، و پروین اولیایی، “اثر فشار محفظه بررشد لایه های نانو کامپوزیت مس-کربن تهیه شده با کاربرد همزمان روشهای لایه نشانی RF-Sputtering و RF-PECVD،” presented at the کنفرانس ملی خلاء ایران. 1386، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/810219/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

  • ثبت نشده است.
  • مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.
  • کارگاه های پیشنهادی






    بازگشت به بالا
    telegram sharing button
    whatsapp sharing button
    linkedin sharing button
    twitter sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    sharethis sharing button