فناوری خلأ نقش تعیین کننده در توسعه بسیاری از فرایندهای پیشرفته مهندسی سطح دارد . شاید بتوان اذعان نمود که خلأ ابزار اصلی در این زمینه به شمار میرود. به طور کلی فرایندهای رسوب فیزیکی بخار PVD و رسوب شیمیایی بخار (CVD) با استفاده از خلأ نسبی و تحت شرایط اتمسفر کنترل شده صورت میپذیرد. در پوشش دهی قطعات صنعتی با استفاده از فرایندهای یاد شده فشار در حدود 10-3-10-7 Torrبطور میانگین بوده و بعضا تغییرات فشار تاثیر قابل ملاحظه ای بر مورفولوژی، ساختار و بافت پوشش های اعمال دارد. شایان ذکر است تغییرات مزبور نیز متقابلا بر رفتار سایش و خوردگی قطعات تاثیرگذار خواهد بود . فرایندهای پاشش حرارتی VPS (Vaccum Plasma Spray) امروزه در پوشش دهی قطعات استراتژیک مانند پره های توربین جت با استفاده از مواد پیشرفته YSZ, MCrAIY مورد استفاده قرار می گیرد. در سالهای اخیر فرایندهای ترموشیمیایی پلاسمایی با استفاده از فناوری خلأ، عملیات نیتراسیون آلیاژهای تیتانیوم، آلومینیوم و فولاد زنگ نزن توسعه گسترده ای داشته است و در سه دهه گذشته امکان جایگزینی قطعات فولادی با آلیاژهای سبک مانند تیتانیوم و آلومینیوم را در صنایع هواپیمایی، هوافضا و نفت و گاز فراهم نموده است. چنانچه کشور در برنامه ریزی های کلان صنعتی خود بتواند در توسعه فناوری خلأ اقدامات شایسته را بعمل آورد، بطور قطع میتوان در توسعه صنایع پیشرفته شاهد دستاوردهای برجسته نیز بود.