مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

مقاله مقاله نشریه

مشخصات مقاله

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

1,845
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

876
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات مقاله نشریه

عنوان

اندازه گیری ضخامت و زبری لایه های نانومتری با استفاده از نمودار شدت فریزهای تداخلی

صفحات

 صفحه شروع 15 | صفحه پایان 25

چکیده

 بر اساس روش متعارف تداخل نوری, با اندازه گیری میزان جا به جایی فریزهای تداخلی, ضخامت لایه نازک به دست می آید. جهت افزایش دقت در سنجش ضخامت های کم و کاهش خطاهای اندازه گیری, نمودار شدت فریزها قبل و بعد از فرآیند ایجاد پله, رسم می شود. با اندازه گیری میزان جا به جایی فریزهای تداخلی, امکان اندازه گیری ضخامت لایه های نازک از مرتبه چند نانومتر فراهم می شود. همچنین با بهره گیری از جا به جایی نمودار شدت و استفاده از اعوجاج های موجود در نمودار شدت فریزهای تداخلی, زبری سطح نمونه با دقت 2 نانومتر اندازه گیری می شود. نتایج مقایسه هر دو اندازه گیری با روش های سنجش مستقیم, حاکی از صحت روش پیشنهاد شده است.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • استناددهی

    APA: کپی

    سبزعلی پور، امیر، و محمدی زاده، محمدرضا. (1390). اندازه گیری ضخامت و زبری لایه های نانومتری با استفاده از نمودار شدت فریزهای تداخلی. پژوهش فیزیک ایران، 11(1)، 15-25. SID. https://sid.ir/paper/1681/fa

    Vancouver: کپی

    سبزعلی پور امیر، محمدی زاده محمدرضا. اندازه گیری ضخامت و زبری لایه های نانومتری با استفاده از نمودار شدت فریزهای تداخلی. پژوهش فیزیک ایران[Internet]. 1390؛11(1):15-25. Available from: https://sid.ir/paper/1681/fa

    IEEE: کپی

    امیر سبزعلی پور، و محمدرضا محمدی زاده، “اندازه گیری ضخامت و زبری لایه های نانومتری با استفاده از نمودار شدت فریزهای تداخلی،” پژوهش فیزیک ایران، vol. 11، no. 1، pp. 15–25، 1390، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/1681/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

    مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.
  • کارگاه های پیشنهادی






    بازگشت به بالا
    telegram sharing button
    whatsapp sharing button
    linkedin sharing button
    twitter sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    sharethis sharing button