مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

643
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

563
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات مقاله نشریه

عنوان

طراحی و ساخت حسگر شار گاز و غشا نازک شیشه ای به روش لایه نشانی و ریزماشینکاری

صفحات

 صفحه شروع 56 | صفحه پایان 65

چکیده

حسگرهای شار گاز با استفاده از تکنیک لایه های نازک ساخته شده اند. این حسگر از نوع گرمایی بوده و براساس اختلاف دمای ناشی از عبور جریان هوا از روی یک گرمکن الکتریکی کار می کند. عنصر حساس به دما در این حسگر, دو سری آرایه ترموکوپلی متشکل از بازوهایی از جنس نیکل و کرم است. این حسگر می تواند جریان های هوا در حدود 10 sccm تا 10000 sccm را اندازه گیری نماید و به راحتی امکان تولید انبوه آن وجود دارد. طراحی و ساخت ماسک, لایه نشانی های مختلف و لیتوگرافی این لایه ها با موفقیت انجام شده است, ریزماشینکاری بر روی شیشه جهت ساخت غشا شیشه ای مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج به دست آمده از آزمایش های انجام شده بر روی این حسگرها نشان می دهد که رفتار حسگر تا 1000 sccm کاملا خطی است که قابل توجه می باشد. در ادامه, طرحی جدید در ساختار هندسی این افزاره که می تواند حساسیت افزاره را افزایش دهد, ارایه می شود.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • استناددهی

    APA: کپی

    مظفری، مرتضی، ارضی، عزت اله، و مهاجرزاده، سیدشمس الدین. (1385). طراحی و ساخت حسگر شار گاز و غشا نازک شیشه ای به روش لایه نشانی و ریزماشینکاری. مجله علوم دانشگاه شهید چمران، -(16 (قسمت الف))، 56-65. SID. https://sid.ir/paper/58003/fa

    Vancouver: کپی

    مظفری مرتضی، ارضی عزت اله، مهاجرزاده سیدشمس الدین. طراحی و ساخت حسگر شار گاز و غشا نازک شیشه ای به روش لایه نشانی و ریزماشینکاری. مجله علوم دانشگاه شهید چمران[Internet]. 1385؛-(16 (قسمت الف)):56-65. Available from: https://sid.ir/paper/58003/fa

    IEEE: کپی

    مرتضی مظفری، عزت اله ارضی، و سیدشمس الدین مهاجرزاده، “طراحی و ساخت حسگر شار گاز و غشا نازک شیشه ای به روش لایه نشانی و ریزماشینکاری،” مجله علوم دانشگاه شهید چمران، vol. -، no. 16 (قسمت الف)، pp. 56–65، 1385، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/58003/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

    مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.
  • کارگاه های پیشنهادی






    بازگشت به بالا
    telegram sharing button
    whatsapp sharing button
    linkedin sharing button
    twitter sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    sharethis sharing button