مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

مقاله مقاله همایش

مشخصات مقاله

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

video

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

sound

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

نسخه انگلیسی

مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

بازدید:

346
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

دانلود:

114
مرکز اطلاعات علمی Scientific Information Database (SID) - Trusted Source for Research and Academic Resources

استناد:

اطلاعات مقاله همایش

عنوان

تهیه لایه های نازک تیتانیوم بر روی زیرلایه های شیشهای به روش کندوپاش مگنترونی و بررسی چسبندگی آنها به زیرلایه

صفحات

 صفحه شروع | صفحه پایان

کلیدواژه

ثبت نشده است

چکیده

 در این کار تجربی لایه های نازکی از تیتانیوم با استفاده از دستگاه کندوپاش مگنترونی تحت شرایط متفاوت بر روی زیر لایه های شیشه ای تهیه و تاثیر چهار پارامتر مهم دما ی زیرلایه، فشار گاز کاری (آرگن)، انرژی یون های تولید شده در پلاسما و فشار پایه بر روی چسبندگی این لایه ها به زیرلایه های شیشه ای مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج حاصله نشان می دهد که چسبندگی لایه های نازک تیتانیومی به زیرلایه های شیشه ای با افزایش دمای زیرلایه افزایش، با افزایش فشار پایه افزایش و با افزایش فشار گاز آرگن کاهش پیدا می کند. افزایش انرژی یونهای فرودی نیز موجب افزایش چسبندگی لایه ها به زیرلایه می گردد. همچنین علل تغییرات مشاهده شده در چسبندگی در اثر افزایش دمای زیرلایه، فشار گاز آرگن، انرژی یونهای فرودی و فشار پایه مورد بحث قرار گرفته است.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • استناددهی

    APA: کپی

    بیدادی، حسن، پرهیزکار، مجتبی، هادیان، فرامرز، و خداکریمی، صبا. (1386). تهیه لایه های نازک تیتانیوم بر روی زیرلایه های شیشهای به روش کندوپاش مگنترونی و بررسی چسبندگی آنها به زیرلایه. کنفرانس ملی خلاء ایران. SID. https://sid.ir/paper/810229/fa

    Vancouver: کپی

    بیدادی حسن، پرهیزکار مجتبی، هادیان فرامرز، خداکریمی صبا. تهیه لایه های نازک تیتانیوم بر روی زیرلایه های شیشهای به روش کندوپاش مگنترونی و بررسی چسبندگی آنها به زیرلایه. 1386. Available from: https://sid.ir/paper/810229/fa

    IEEE: کپی

    حسن بیدادی، مجتبی پرهیزکار، فرامرز هادیان، و صبا خداکریمی، “تهیه لایه های نازک تیتانیوم بر روی زیرلایه های شیشهای به روش کندوپاش مگنترونی و بررسی چسبندگی آنها به زیرلایه،” presented at the کنفرانس ملی خلاء ایران. 1386، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/810229/fa

    مقالات مرتبط نشریه ای

  • ثبت نشده است.
  • مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.
  • کارگاه های پیشنهادی






    بازگشت به بالا
    telegram sharing button
    whatsapp sharing button
    linkedin sharing button
    twitter sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    email sharing button
    sharethis sharing button