شیوه و چگونگی ساخت فاز Ti2AIN در این مقاله مورد آزمایش و بررسی قرار گرفته است. لایه های نازک Ti2AIN یکی از اعضای گروه فاز Mn+1AXn (M: فلز واسطه؛ A: عنصر گروه A؛ X: کربن و یا نیتروژن؛ (n=1, 2, 3، با خواص فوق العاده سرامیکی - فلزی می باشد، رسوب گذاری لایه های نازک این نیترید سه تایی به وسیله کند و پاش مغناطیسی dc از یک هدف ترکیبی Ti-Al در فضای مخلوط گازی Al/N2 روی زیر لایه های Ti، Si و glass انجام شد. با استفاده از پراش اشعه X و میکروسکوپ نیروی اتمی AFM، ساختار کریستالی Ti2AIN(004) حاصل شده و در ادامه خصوصیات سطح نمونه های مختلف مورد بررسی قرار گرفت.